installation de traitement des tranches
- installation de traitement des tranches
- plokštelių apdorojimo įrenginys
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. wafer processor
vok. Waferbearbeitungsanlage, f
rus. установка для обработки пластин, f
pranc. installation de traitement des tranches, f
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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